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中國科學院長春光機所黎大兵研究團隊喜獲吉林省技術發明一等獎

發表于:2023-12-26 來源:半導體產業網 編輯:

?近日,吉林省人民政府發布了《吉林省人民政府關于2023年度吉林省科學技術獎勵的決定》(吉政函〔2023〕80號),其中,中國科學院長春光學精密機械與物理研究所、奧趨光電技術(杭州)有限公司、楚赟精工科技(上海)有限公司合作項目“低缺陷氮化鋁材料制備關鍵技術及其深紫外光電器件”項目榮獲吉林省技術發明一等獎。所有完成人:1黎大兵,2孫曉娟,3吳亮,4徐春陽,5蔣科,6賁建偉,7張山麗,8王琦琨,9林桂榮,10石芝銘;所有完成單位:1中國科學院長春光學精密機械與物理研究所,2奧趨光電技術(杭州)有限公司,3楚赟精工科技(上海)有限公司。

2023年度吉林省技術發明一等獎共三項,另兩項技術發明一等獎分別為“復雜服役環境工模具表面損傷仿生功能化數字修復新技術”(吉林大學等)、單細胞多維信息納米成像檢測與操縱技術及應用(長春理工大學等)。據悉,2023年度吉林省科學技術獎共評選出獎勵項目281項(人),包括技術發明獎6項(一等獎3項、二等獎3項),自然科學獎74項目(一等獎4項、二等獎34項、三等獎36項),科學進步獎200項(一等獎28項、二等獎73項、三等獎99項),國際科學技術合作獎1人。

氮化鋁、碳化硅、氮化鎵等寬禁帶半導體材料是新一代固態光源、電力電子、微波射頻器件的“核芯”,是全球半導體技術研究前沿和戰略競爭的制高點,美、日、歐等各國政府均積極進行戰略部署,支持開展各項研究計劃。AlN具有高禁帶寬度(6.2eV)、高熱導率、高擊穿場強、良好的紫外透過率、化學和熱穩定性等優異性能,與金剛石一起稱為終極半導體材料。其中,氮化鋁作為襯底材料在紫外光電器件(UVC-LED、紫外激光器、紫外傳感)、各類射頻器件/功率器件及國防軍工(紫外預警、高功率X波段相控雷達、保密通信)等領域有廣泛應用前景。美國氮化鋁單晶制備技術及相關產品十多年來一直對華封鎖與禁運,也是《中國制造2025》綠皮書重點支持戰略新材料。

關于中國科學院長春光學精密機械與物理研究所

中國科學院長春光學精密機械與物理研究所(簡稱“長春光機所”)始建于1952年,由長春光機所與長春物理所于1999年整合而成,是新中國在光學領域建立的第一個研究所,主要從事發光學、應用光學、光學工程、精密機械與儀器的研發生產。

建所70年來,長春光機所在以王大珩院士、徐敘瑢院士等為代表的一批科學家的帶領下,研制出中國第一臺紅寶石激光器、第一臺大型電影經緯儀等多種先進儀器設備,創造了十幾項“中國第一”;組建、援建了10余家科研機構、大專院校和企業單位,并為其輸送了2200多名各類專業人才;有27位在本所學習或者工作過的優秀科學家當選為兩院院士,并涌現出“知識分子的優秀代表”蔣筑英等眾多英模人物;先后參加了“兩彈一星”、“載人航天工程”等多項國家重大工程項目,為我國國防建設、經濟發展和社會進步做出了突出貢獻。

進入知識創新工程以來,長春光機所堅持以科技創新為核心的“研產學并舉”發展理念,在科研領域攻克了多項關鍵技術,取得了以神舟系列有效載荷為代表的一批重大科研成果。現有18個研究部室,其中國家重點實驗室/工程中心6個、中科院重點實驗室2個。長春光機所園區占地面積1平方公里,建筑面積41萬平方米,園區結構合理、功能齊全、設施先進、環境優美。作為中科院博士生重點培養基地,長春光機所設有碩士點9個、博士點7個、博士后流動站3個,在學研究生千余人。

長春光機所現有在職職工2500余人,其中國家級各類領軍人才15人,國務院政府特殊津貼獲得者37人。通過實施科學的人才培養和評價體系,形成了創新人才輩出、創新成果不斷涌現的良好態勢。

長春光機所的各項工作得到社會各界的大力支持和充分肯定,曾榮獲多項獎勵和榮譽稱號。2000年以來,獲得國家及省部級科技成果獎勵165項,其中國家科技進步特等獎3項,國家科技進步獎、國家發明獎、國家自然科學獎共28項,中科院、省部級一等獎78項。2002-2003年,連續兩年獲得“全國五一勞動獎狀”,2011年被評為“全國先進基層黨組織”,2014年被授予“全國文明單位”稱號。

關于奧趨光電技術(杭州)有限公司

奧趨光電是由海歸博士團隊、半導體領域頂尖技術專家領銜,于2016年5月創立的高新技術、創新型企業,總部位于浙江省杭州市。奧趨光電核心專注于第三代/第四代超寬禁帶半導體氮化鋁晶圓襯底材料、藍寶石基/硅基/碳化硅基氮化鋁/氮化鋁鈧薄膜模板、全自動氮化鋁PVT氣相沉積爐及其相關產品的研發、制造與銷售,核心產品被列入《中國制造2025》關鍵戰略新材料與裝備目錄,是制備深紫外LED芯片、5G射頻前端濾波器、MEMS壓電傳感器等各類紫外發光器件、高溫/高頻射頻器件、高頻/高功率電子及激光器件的理想襯底/壓電材料。

奧趨光電經過多年的高強度研發投入,于2019年成功開發出全球最大,直徑60mm的氮化鋁單晶及晶圓,并于2022年開發出直徑達76 mm的鋁極性氮化鋁單晶及3英寸晶圓樣片,奧趨光電同時也是全球首家藍寶石基氮化鋁薄膜模板大批量制造商。目前可向客戶提供2英寸及以下尺寸高質量氮化鋁單晶襯底、2/4/6英寸藍寶石基/硅基/碳化硅基氮化鋁、氮化鋁鈧薄膜模板、氮化鋁單晶氣相沉積爐及熱處理設備等產品,同時向客戶及合作伙伴提供從設備設計、熱場設計、熱場模擬仿真技術開發、咨詢及生長工藝優化到晶圓制程等全環節的完整工藝解決方案與專業技術服務。截止2023年11月,共申請/授權國際、國內專利60余項,是全球范圍內本領域專利數量最多的團隊之一,被公認為本領域全球技術的領導者。

關于楚赟精工科技(上海)有限公司

楚赟精工科技(上海)有限公司成立于2014年,是一家化合物半導體全領域材料生長裝備制造國產化企業,以MOCVD和CVD裝備為核心產品,致力于第三代半導體裝備和材料技術的研發與產業化,提供專業、定制的化合物半導體領域核心技術裝備和新材料工藝。公司員工約30%擁有博士或碩士學位,在上海浦東張江擁有1000多平米的研發中心。公司專注于:(1)MOCVD、專業CVD等半導體高端裝備定制研發、生產制造和技術服務;(2)高新材料定制生長與合作研究探索。

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