PVT單晶生長設備、HVPE單晶生長設備、碳化硅高溫氧化設備……11年，11款產品。經過10多年的發展，山東力冠微電子裝備有限公司已成為一家集研發、生產、銷售為一體的半導體材料工藝裝備制造商。

“我們靠技術贏得市場，目前產品遠銷東南亞、歐美。計劃三年之內，我們公司的銷售總額能突破10億元。”山東力冠微電子董事長孫軍偉介紹。

從公司設立之初的幾個人到如今近200人，企業快速成長的秘訣在科技創新。“這些年來我們的研發投入占銷售收入比重始終保持在30％—50％之間，目前我們的研發隊伍50多人。”孫軍偉說。

山東力冠微電子常年與國內知名半導體企業、科研院校等保持密切合作，企業產品涵蓋第一代至第四代半導體材料工藝裝備，擁有自主知識產權，廣泛應用于集成電路、功率半導體、化合物半導體、5G芯片、光通信、MEMS等新型電子器件制造領域。

“目前我們有5款硅基半導體設備，6款化合晶體設備。其中，我們的化合晶體設備的技術水平位居全國前列。我們的夢想就是為半導體裝備產業做出國產可替代產品。”孫軍偉說。

山東力冠微電子是濟南寬禁帶半導體產業園內的企業之一。產業園致力于建設國際領先的寬禁帶半導體研發總部，標準化廠房及廠前區配套服務用房，圍繞碳化硅、氮化鎵等第三代半導體核心材料，重點建設寬禁帶半導體研發基地和產業聚集區。截至目前，已入駐山東力冠微電子、山東古天電子、濟南華研國芯微電子等近20家半導體企業。

濟南寬禁帶半導體產業園所處的槐蔭經濟開發區，半導體及其應用產業已經成長為四大優勢產業之一。“我們聚焦半導體材料及其外延、封測、應用器件等主攻方向和新能源汽車、光伏能源、軌道交通、智能控制器件、通訊射頻器件等重點領域，加大支持力度、完善政策措施，吸引高端資源和創新要素流入，將半導體及其應用產業打造成開發區的‘一號產業’。充分發揮山東天岳的龍頭輻射帶動作用，育優育強山東力冠微電子、元山電子、古天電子、紐特動力、華研國芯等骨干企業，著力構建上下游貫通、產研用一體、大中小企業協同的新發展格局。”槐蔭經濟開發區經濟發展局局長趙寧說。

（來源：大眾日報）